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飞行时间二次离子质谱仪

飞行时间二次离子质谱仪SurfaceSeer I

产品概述

SurfaceSeer I飞行时间二次离子质谱仪是一款可实现复杂、异质样品的纳米级化学成像与深度剖析的高端平台，集成25kV液态金属离子枪(Bi/Ga/Au-Ge可选)，配备抗振动系统，可实现小于0.5微米的高空间分辨率成像分析。同时系统配备了二次电子检测器，用于调谐初级离子束并捕捉表面形貌。此外，还可选配5keV气体枪，适用于溅射清洁和深度剖析。

应用范围

材料表面研究
粘附特性分析
薄膜质量控制
薄膜深度剖析
催化研究
生物兼容性测试

产品特点

25kV高能量液态金属离子枪(LMIG)结合防振框架，空间分辨率和质量分辨率更优

LMIG可进行数字扫描，配置成像系统可实现纳米级成像分析

二次电子检测系统，实现表面形貌成像与束流调谐

5keV气体溅射枪系统，支持刻蚀清洁与深度剖析，揭示三维结构

电子脉冲中和，可分析导电和绝缘样品

可选SIMS库包含上千种材料的质谱数据，可识别未知的化合物和材料

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