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在近期举办的“质析毫微・谱绘万象”半导体痕量成分检测技术交流会上,分析测试百科网采访了雪迪龙子公司英国Kore公司总经理Stephen James Mullock和技术专家Douglas Fraser Reich,揭秘了Kore如何以技术创新与定制化开发服务全球高端细分市场,以及其加入雪迪龙后,为中国应用行业和质谱研发注入源源不断的动力。
1991年成立的Kore Technology,是国际飞行时间质谱仪领域的开拓者之一。Kore的发展历程始终与技术创新相伴,1993年,团队因开发便携式飞行时间质谱仪,获得英国贸易和工业部(DTI)SMART奖和基金资助,这款质谱仪最终演变成今日的MS-200便携式质谱仪。1995年,团队因开发用于固体样品表面分析的新型台式二次离子质谱仪被DTI授予SPUR奖。该仪器可用于产品研发、质量控制和故障诊断。基于这项研发成果,Kore最终推出了其SurfaceSeer系列TOF-SIMS二次离子质谱仪。此后,Kore又成功研发了质子转移反应飞行时间质谱仪(PTR-TOF MS)。在研发过程中,团队创新性地开发了用于质子转移反应的射频离子漏斗,成为该技术领域的先驱。
2015年,北京雪迪龙科技股份有限公司控股收购Kore公司,并成立中国质谱团队,从事PTR-TOF MS的研发和环境监测应用。近年来雪迪龙开始将Kore高精尖的TOF-MS、TOF-SIMS等技术进一步转化,为国内材料及半导体行业服务,也为国内的研发机构提供高端质谱仪及核心部件的定制化开发。
依托核心技术,Kore以飞行时间质谱仪为核心,打造了TOF-SIMS、PTR-TOF MS、便携式质谱仪等一系列产品,还开发了基于电子轰击电离技术的气体分析设备。这些产品涵盖小型、中型、大型等不同规格——从“可以装在手提箱里的便携式仪器”到满足高端实验需求的大型系统,产品矩阵已覆盖环境监测、健康安全、材料研发、食品及半导体等多元领域。
SurfaceSeer-I是一款高灵敏度的TOF-SIMS,用于绝缘、导电表面的成像分析与化学成分分析,是表面化学研究、研发与工业质量控制等方面的理想选择。它配备了25kV液态金属离子枪(LMIG),实现高空间分辨率的分析。它采用延迟提取技术产生二次离子,配置光学相机,具备表面成像和深度剖析功能,配置二次电子检测系统SED,具有高度稳定可调的样品台(X、Y、Z轴),满足不同厚度样品分析需求,其SIMS库包含上千种材料的质谱数据,可识别未知的化合物和材料。
SurfaceSeer-S是一款结构紧凑且价格合理的TOF-SIMS,用于快速检测表面化学特性。它是研究样品表面化学成分的理想选择,适用于产品研发和工业质量控制等。它采用低能电子枪(5KV Ar+/Cs+离子束),通过脉冲方式工作,实现样品“无损”分析,可在1~2min内实现高速率的正负质谱分析,适用于导电物体表面和绝缘物体表面的分析,具有高分辨率、易于使用的特点,可选Surface Spectra Static SIMS Library(表面光谱静态SIMS库),包含1900多个谱图和涵盖1000多种材料数据。
雪迪龙和Kore合作开发了质子转移飞行时间质谱PTR-TOF 4000和PTR-TOF 4000c,实现在线检测痕量VOCs。其采用多试剂离子,可分析数百种VOCs,实现无需预处理,直接空气进样的实时在线监测。检出限低至pptv量级,可检测痕量污染物,具有快速响应能力,在(50~100)ms内快速甄别污染物,并具有高质量分辨率,准确识别化学组分,减少干扰。
MS-200便携式质谱仪采用手提式(23公斤)、电池供电设计,选择性双膜进气口,最适合VOCs检测。它可使用常规电子轰击NIST质谱库,可检测到低ppb级别的VOCs,典型响应时间仅需30s。
Kore还为研发型实验室开发了EI-TOF MS小型台式飞行时间质谱仪。它使用70eV标准电子轰击电离源,谱图结果可匹配NIST库。它具有紧凑的外形和轻量化设计,便于安装在多种系统内;膜进样和毛细管双进样系统可适应复杂应用场景。
作为飞行时间质谱仪领域的先行者,Kore凭借持续的技术创新、灵活的定制化服务及高性价比的产品,已在全球市场树立起了专业的行业形象。雪迪龙和Kore后续有望为中国及全球用户提供更优质的产品与服务,进而为质谱技术的应用普及与行业发展带来推动作用。
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